Spécifications de pureté de formule moléculaire Product(targets)
molybdène Mo 3N-4N plaques cible
Ta cible tantale 3N-4N plaques cible
chrome cible Cr 2N5-4N plaques cible
cible de plaques 4N-6N Silicon cible Si
Niobium Nb 3N-4N plaques cible
titane cible Ti 2N5-4N plaques cible
oxyde de Zinc aluminium cible AZO 3N-5N plaques cible
oxyde de Niobium cible Nb2O5 3N-5N plaques cible
silice SiO2 de cible 3N-5N plaques cible
Nickel Vanadium alliage cible Ni-V 3N-4N plaques Cible
Nickel alliage cuivre cible Ni-Cu-3N-4N plaques cible
Nickel Chrome alliage cible Ni-Cr 3N-4N plaques cible
aluminium silicium alliage Al-Si 4N-5N plaques cible
Indium alliage d'étain cible dans Sn 4N-5N plaques cible
