La description
Le four CVD vertical (carbone) est utilisé pour les matériaux composites CVD qui utilisaient des hydrocarbures gazeux (tels que C3H8) comme sources de carbone. Cela fonctionne sur le traitement CVD et CVI pour les matériaux de carbone.
Caractéristiques techniques
- En utilisant différentes zones de contrôle de la température en fonction de la taille de la zone de travail, assurant une grande uniformité de la température.
- La technologie de contrôle la plus avancée est adoptée pour contrôler le débit et la pression de MTS, réalisant un flux d’air de dépôt stable et une faible plage de fluctuation de pression.
- L'unité de vide anti-corrosion nouvellement conçue assure une longue période de travail continue et un faible taux de maintenance.
- Le four à tube de carbone sous vide vertical utilise une chambre de dépôt spécialement conçue, qui assure un bon effet d'étanchéité et une grande performance de protection contre la contamination.
- Plusieurs canaux de dépôt assurent l'uniformité du champ d'écoulement, un coin mort sans dépôt et une grande surface de dépôt.
- Les gaz de queue hautement corrosifs, les gaz combustibles et d'explosion, les poussières solides et les produits à bas point de fusion peuvent être traités efficacement au cours du processus de dépôt.
