variété de taille de diamètre extérieur en option
haute résolution
réponse rapide
boucle ouverte / boucle fermée
Actionneurs piézo OEM :
Tension d'entraînement : 0 ~ 150 V ;
Force de sortie maximale : 1800 N ;
Résolution jusqu'à 0,05 nm ;
Petite taille, OEM, pile piézo.
Actionneurs piézo préchargés :
Tension d'entraînement : 0 ~ 150 V ;
Force de sortie maximale : 50 000 N ;
Résolution jusqu'à 0,05 nm ;
Petite taille;
Compatible UHV ;
Ultra basse température, thormostabilisation.