Actives axes : X, Y, Z, ?X, ?Y, ?Z
X, Y nominale voyage range(0~120V):±25µm
Z nominale voyage range(0~120V) : ±12.8µm
?X, ?Y nominale voyage range(0~120V) : ±0.64mrad
?Z voyage nominale range(0~120V):±0.96mrad
caractéristiques de construction :
isolation est sur le flanc, la section transversale en céramique piézoélectrique peut actionneur et c’est un rendement élevé , performance en bon état pour montrer qu’il n’y a aucune déformation du champ électrique local.